Le ragioni della velocità di aspirazione lenta precisione della macchina per rivestimento sotto vuoto si trovano principalmente dai seguenti aspetti:
Innanzitutto, la pompa di diffusione potrebbe non essere molto buona.
Soluzione: è possibile utilizzare uno ionizzatore per misurare la porta della pompa della singola pompa di diffusione per vedere quanto può pompare la singola pompa di diffusione, quindi guardare il tempo e il limite di aspirazione, quindi confrontare.
2. C'è una leggera perdita nel sistema a vuoto.
Soluzione: è necessario rilevare lentamente la perdita per vedere se il tempo di aspirazione può soddisfare lo standard.
3. La scatola è troppo sporca e il gas è troppo sporco.
Soluzione: pulire il cartone
4. Il grado di vuoto della fase anteriore non è buono e il grado di vuoto finale della pompa meccanica o della pompa meccanica più la pompa delle radici non è buono.
Soluzione: il tubo anteriore può essere rilevato solo con un misuratore di resistenza.
